Hitchon, W. N. G.: Plasma Processes for Fabrication. [Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering, Vol. 8]. Cambridge University Press, 2008.

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Hitchon, W. N. G.:
Plasma Processes for Fabrication. [Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering, Vol. 8].
Cambridge University Press, 2008.
ISBN/EAN: 9780521018005

gefunden im Sachgebiet: Elektrotechnik, Elektronik, Mechanik

Revised ed. 232 S. Softcover/Paperback

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