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Artikelbeschreibung

Schäfer, Wolfgang/Terlecki, Georg
Halbleiterprüfung. Licht- und Rasterelektronenmikroskopie

gefunden im Sachgebiet: Technik

Dr. Alfred Hüthig Verlag, Heidelberg, 1986. 259 S. mit 167 Bildern und 12 Tabellen, Pappband (Bibliotheksexemplar)

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